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Salle blanche
travaux pratiques
Liste des TP
Réalisation de microsystèmes sur plaques silicium et SOI 4 pouces. (16h)
(résumé, pdf)
Réalisation de transistors MOS à grilles (sub)microniques en silicium polycritallin (16h ou 20h)
Jeu de masque MOSTEC; il permet, selon le programme choisi, de réaliser des T MOS à grilles submicroniques (et de se passer de l'oxyde LTO éventuellement) (résumé, pdf)
Réalisation de transistors NMOS à grille en aluminium (16h)
Jeu de masques CHAPRON, sur plaquettes 2 pouces.
(résumé, pdf)
Réalisation de transistors NMOS à grille en silicium polycristallin (16 ou 20h)
Jeu de masques JOPE sur plaquettes 2 pouces.
(résumé, pdf)
Réalisation d'une capacité MOS Al/SiO2/Si (8h)
Plaquettes 2 pouces (2 jours)
(résumé, pdf)
réalisation d'une capacité MOS et d'une diode sur plaquette 2 pouces (8h)
(résumé, pdf)
Réalisation par micro-usinage du silicium, études et utilisation de biopuces.
Plaques 2 pouces. (1 journée en salle blanche + 1 journée sur plateforme biotechnologie)
(résumé, pdf)
Public visé
Formation initiale : élève-ingénieur, IUT, licence, maîtrise, Masters, Masters internationnauxFormation permanente